半導(dǎo)體工藝正在逼近物理極限。2nm、1nm制程的推進(jìn)，不僅考驗(yàn)光刻精度，更對(duì)設(shè)備潔凈度提出了qian suo wei you的要求。在真空系統(tǒng)中，閥門是運(yùn)動(dòng)件，也是Particle產(chǎn)生的主要來(lái)源之一。如何在閥門開閉過(guò)程中將顆粒產(chǎn)生降至zui di，成為先進(jìn)制程設(shè)備設(shè)計(jì)必須回答的問題。

L-MOTION（50×336）矩形傳輸閥主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中的真空傳輸系統(tǒng)與工藝腔室之間的隔離，適用于晶圓傳輸與工藝腔隔離。

L-MOTION是一種區(qū)別于傳統(tǒng)擺桿機(jī)構(gòu)的新型閥門運(yùn)動(dòng)技術(shù)，其核心邏輯是用運(yùn)動(dòng)軌跡的正交封合，換取密封過(guò)程中的“零摩擦"。具體來(lái)說(shuō)，閥板的運(yùn)動(dòng)拆解為兩個(gè)獨(dú)立方向：先垂直移動(dòng)至關(guān)閉位置，再水平壓緊至閥座。

整個(gè)過(guò)程閥板與閥體無(wú)滑動(dòng)摩擦，O型圈與密封面之間只有垂直壓縮接觸，沒有切向磨耗。這一設(shè)計(jì)從根本上規(guī)避了摩擦產(chǎn)塵問題，同時(shí)最大限度減少了密封件磨損。另外，所有運(yùn)動(dòng)部件均通過(guò)金屬焊接波紋管與真空側(cè)wan quan隔離，確保長(zhǎng)期運(yùn)行的密封可靠性。

日揚(yáng)L-MOTION矩形傳輸閥在振動(dòng)測(cè)試中表現(xiàn)突出。測(cè)試采用三軸加速度傳感器采集閥體X/Y/Z三個(gè)方向的振動(dòng)加速度數(shù)據(jù)，開閉時(shí)間固定在2s，在額定氣壓下進(jìn)行連續(xù)啟閉循環(huán)測(cè)試。結(jié)果顯示，閥門啟閉過(guò)程中的振動(dòng)加速度峰值控制在較低水平，且振動(dòng)波形平緩、無(wú)明顯沖擊尖峰。振動(dòng)值范圍在0.02~0.08G之間，遠(yuǎn)低于0.15G的標(biāo)準(zhǔn)。在裝機(jī)于工藝腔體的環(huán)境下，閥門振動(dòng)幅度將會(huì)更小。

此外該閥門擁有運(yùn)動(dòng)調(diào)速功能，允許用戶根據(jù)工藝需求調(diào)整開閉速度，自定義低速可進(jìn)一步降低振動(dòng)水平，一方面可以減少振動(dòng)對(duì)精密工藝環(huán)境的干擾，另一方面振動(dòng)本身也是顆粒釋放的驅(qū)動(dòng)因素——低振動(dòng)從源頭降低了Particle產(chǎn)生和擴(kuò)散的風(fēng)險(xiǎn)。