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INFICON 濺射傳感器專為各種濺射過程而設(shè)計(jì)。鍍金鈹銅傳感器體和冷卻管在濺射環(huán)境中可實(shí)現(xiàn)冷卻效果。傳感器頭內(nèi)置的磁鐵可抑制因外部磁場偏轉(zhuǎn)濺射系統(tǒng)中的高能自由電子而引起的過熱。后裝式晶體支架設(shè)計(jì)便于更換晶體，更換時(shí)無需從系統(tǒng)中拆卸傳感器頭。
炫酷抽屜雙傳感器設(shè)計(jì)用于在真空室中需要第二晶體的關(guān)鍵過程。擁有水冷澆鑄不銹鋼傳感器殼體、兩個(gè)炫酷抽屜晶體支架以及一個(gè)氣動(dòng)閘門，可以為堅(jiān)固耐用的傳感器頭提供超高的備份晶體可靠性。腔室中沒有同軸電纜，可以進(jìn)行更純凈、更可靠的真空系統(tǒng)安裝。
INFICON 前裝式單晶體傳感器擁有經(jīng)實(shí)踐檢驗(yàn)的可靠性和耐用性，提供超越當(dāng)前市場上的任何傳感器頭的熱穩(wěn)定性。前裝式設(shè)計(jì)允許在側(cè)面插入空間不足的應(yīng)用中輕松插入晶體支架。經(jīng)機(jī)械裝配而成，
INFICON 前裝式雙晶體傳感器擁有經(jīng)實(shí)踐檢驗(yàn)的可靠性和耐用性，提供超越當(dāng)前市場上的任何傳感器頭的熱穩(wěn)定性。雙傳感器可提供備用晶體，這對于真空腔室中需要有第二個(gè)晶體的關(guān)鍵過程至關(guān)重要。
CrystalSix 傳感器在一個(gè)傳感器頭中含有 6 顆石英監(jiān)控器晶體，為 OLED、MBE、太陽能、長時(shí)間光學(xué)鍍膜或其他需要長時(shí)間腔室排氣的過程提供安全性。與 INFICON 薄膜沉積監(jiān)控器結(jié)合使用時(shí)，CrystalSix 在當(dāng)前晶體失效或不穩(wěn)定的情況下，會(huì)自動(dòng)將新的晶體轉(zhuǎn)動(dòng)到適當(dāng)?shù)奈恢?。晶體更換是自動(dòng)完成的，不會(huì)中斷您的過程，支持持續(xù)監(jiān)控沉積速率。
炫酷抽屜單傳感器允許晶體從側(cè)面安裝到傳感器中，為沒有足夠的空間從前面安裝晶體的系統(tǒng)提供了便利。炫酷抽屜單傳感器采用炫酷抽屜晶體支架，該晶體支架通過水冷式外殼進(jìn)行熱屏蔽，可確保晶體性能。
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